Центр микросистемотехники

Научно-производственный центр микросистемотехники включает «чистые помещения»  с классом чистоты ISO 4-8 и общей производственной  площадью 1300 м2.

РАЗРАБОТКА И ПРОИЗВОДСТВО

 

ТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ КООПЕРАЦИЯ

Технологическая линейка обеспечивает годовой выпуск изделий МСТ до 350 тыс. шт.

Ключевые параметры технологического процесса

Размер минимального топологического элемента, нм  350
Точность обеспечения  разновысотности элементов структуры, нм ± 1
Аспектное соотношение при травлении 3Д-структур 1:100

Возможность формирования плёночных структур из любых металлов, поликремния, нитридов, оксидов и др., в том числе алмазоподобных плёнок с пьезоэффектом