Версия для печати

Фотошаблоны

Фотошаблоны применяются для оптической или контактной фотолитографии при производстве микросхем, схем функциональной электроники, тонкоплёночных, микропоосковых и СВЧ плат.
 
В качестве информации для изготовления фотошаблона используются файлы формата AutoCAD. Также может использоваться эскиз или чертеж, таблица координат, расчетные формулы, сканированные изображения, файлы графических форматов PCAD, Corel Draw.
 
При необходимости специалисты ОАО «Авангард» помогут разработать конструкторскую документацию или скорректировать имеющуюся.
 
Основные технические характеристики:
1. Размер фотошаблона: 102 х 102, 127 х 127.
2. Тип маскирующего покрытия: хром, окись железа.
3. Минимальный топологический размер: 0,6 мкм.
4. Неровность края: не хуже 0,05 мкм.
 
Все фотошаблоны изготавливаются в соответствии с ОСТ 4Г 0.073.210-84 «Фотошаблоны прецизионные».
 
 
 

fsh1.jpg

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

fsh2.jpg

 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 
 

fshmicro.jpg